高純氣體必須滿足2 個條件:
1、主體成分含量必須大于某一定值。
2、各雜質組分含量必須小于某一定值。
電子工業(yè)用氣、儀器儀表校準用的零點氣、標準氣配制用氣、色譜載氣等均需滿足以上要求， 可列為高純氣體。
理論上， 高純氣體的純度= 主體成分含量= 1-∑ 雜質含量。事實上， 用實驗方法直接準確測定高純氣體中主體成分含量是非常困難的。
氣體的監(jiān)測和分析是檢查氣體質量、確保用氣點或用氣設備能所用高純氣體的重要手段，高純氣體，也是保證安全生產的重要措施。高純氣體的監(jiān)測與分析，只有采用先進的分析方法和精密的分析儀器，才能獲得精i確的分析數據。
氣體監(jiān)測和分析的重要性
隨著晶片的幾何結構縮小，合肥氣體，集成電路集成度的不斷提高，即使有極微量的氣態(tài)雜質的沾污和極小的塵埃污染，也會給生產帶來嚴重的破壞性。
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