高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體；可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體；在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。充液氬前要用少量液氬預(yù)冷。貯存，停產(chǎn)期間，由于自然揮發(fā)的氮?dú)饬粼诓蹆?nèi)，內(nèi)筒壓力會(huì)逐漸升高，當(dāng)內(nèi)筒壓力達(dá)到0.8Mpa時(shí)，應(yīng)適當(dāng)打開放空閥泄壓。液氬罐嚴(yán)禁在容器蓋上放置物體和密封頸口。放進(jìn)或取出冷凍物品時(shí)，要盡量使罐口打開時(shí)間短，以減少液氬消耗，也不要把提筒完全提出來。
液氬罐嚴(yán)禁在容器蓋上放置物體和密封頸口。放進(jìn)或取出冷凍物品時(shí)，要盡量使罐口打開時(shí)間短，以減少液氬消耗，也不要把提筒完全提出來。液氬在以下情況發(fā)生時(shí)的急救措施當(dāng)不幸皮膚接觸：接觸液氬，可形成凍。處理方法：用水沖洗，就醫(yī)。當(dāng)不幸眼睛接觸處理方法：翻開眼瞼用生理鹽水或流動(dòng)清水沖洗，就醫(yī)。液氬采用空氣分離提取氬，即將液化的空氣進(jìn)行精餾，得到粗氬，粗氬經(jīng)進(jìn)一步提純可得到高純氬。
液氬罐嚴(yán)防沖擊和碰撞。嚴(yán)禁用硬物清除頸管內(nèi)的凍霜，以免損傷頸管。液氬罐運(yùn)輸時(shí)只能立放，不能躺放，為了防止翻倒，須用皮帶或其它物品固定，為了緩和沖擊，應(yīng)使用海棉或其它軟墊墊底。液氬沸點(diǎn)- 185.9℃。熔點(diǎn)-189.2℃。臨界溫度-122.3C，臨界壓力4. 893MPa。溶于。不燃燒，無毒，無腐蝕性。液氬貯槽使用前的準(zhǔn)備工作閥門儀表的檢查：在充入低溫液體前要認(rèn)真檢查閥門是否處于正確的啟閉狀態(tài)，儀表指示是否正確否則應(yīng)予以調(diào)整。
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